Robot Wafer Lobster200Z300S-T0X5-V

Loại

Một tay

Thông số kỹ thuật được áp dụng

~ 300

Tải trọng định mức

0.5kg

Mức độ tự do

3

Phạm vi chuyển động

Trục nâng (Z)

300mm

Trục quay (T)

340deg

Trục kéo dài (R)

400mm

Tốc độ tối đa

Trục nâng (Z)

300 mm/giây

Trục quay (T)

400deg/GIÂY

Trục kéo dài (R)

700 mm/giây

Tính năng

1) môi trường chân không.

2) Chiều dài cánh tay robot: 200mm.

3) truyền động trực tiếp, cấu trúc nhỏ gọn

4) cảm biến ánh xạ để phát hiện nếu có tấm Wafer, nếu nằm trên hoặc nghiêng.

5) Thông số kỹ thuật có thể được tùy chỉnh theo yêu cầu.

Độ chính xác định vị lại

± 0.1mm

Tỷ lệ rò rỉ

1*10e-6 PA

Sạch sẽ

ISO Class1

Giao diện

Giao diện I/O

4 đầu vào kỹ thuật số có thể cấu hình;

4 đầu ra kỹ thuật số có thể cấu hình;

8 đầu vào kỹ thuật số chung;

8 đầu ra kỹ thuật số chung;

(Mở rộng lại 8 đầu vào/đầu ra kỹ thuật số).

Ethernet

1

USB

2

RS232/RS485

1

Giao thức truyền thông

Modbus-rtu/TCP 、 ổ cắm

Chiều dài cánh tay (R)

200mm

Hành Trình dọc (Z)

150mm

Chiều cao Bàn Máy (H)

868mm

Chiều dài bộ truyền động (L)

Dựa trên nhu cầu

Chiều cao từ bàn đến vị trí xuống của Đột Quỵ (H)

120mm